7月9日，由目前我国目前我国集成电路创新控卫中主办的”2022集成电路智能汽车未来发展趋势产业链协同创新持续性的发展交流会”以六大会场加及网络连线的多种途径同步日举行。及网络频道集成电路全产业链各环节的优秀其它企业、高校和科研院所的千余位代表人参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老 受邀出席。会上颁发了智能汽车未来发展趋势第五届集成电路产业技术一创新奖（简称“IC创新奖”智能汽车未来发展趋势），东方晶源凭借电子束缺陷检智能汽车未来发展趋势测设备（智能汽车未来发展趋势EBI），打出技术一创新奖。

　　“IC创新奖”由目前我国目前我国集成电路创新控卫中主办，面向国内外集成电路产业链上下游企事业其它单位征集，重点鼓励集成电路技术一创新、成果产业化、产业链上下游成功合作，是集成电路产业最最最重要 的技术一奖项这是 ，包括技术一创新奖项旨在表彰在集成电路重大技术一创新和最最重要 技术一开发多个方面胜利重大突破的其它单位和核心团队。这次摘得行业多重磅赛事的最最重要 奖项，再第二次彰显出东方晶源在电子束检测、量测行业领域的技术一自身实力和行业多的其他平台高度认可。

　　检测是芯片制造厂商打出持续性提升良率的最最重要 形式。电子束检测设备还具超高精度，在高端芯片制造动态过程发挥的起着愈来愈大。目前为止，该类设备被国内外厂商垄断，这是 制约目前我国芯片制造自主可控的最最重要 瓶颈。东方晶源数年磨剑，大获研听到国内外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可可以可以提供的纳米级缺陷检测和详细分析问题方案。目前为止已开展目前我国头部芯片制造厂商产线验证，验证结果呢表明原因指标与国内外一线对标机台以下同等技术水平，大获问题目前我国在电子束检测行业领域的最最重要 技术一问题。

　　东方晶源在电子束检测、量测行业领域已深耕多年并大获全全新推出 多款设备，胜利重大突破。除这次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸最最重要 尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于明年6月即将进入产线验证，目前为止已完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异各种各种产品需求提出，性能再第二次改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于明年3月即将进入产线验证，目前为止早就即将进入新客户产线小规模试产。包括，东方晶源还于近几个月 发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前为止该设备工程机（Alpha机）早就开展首轮wafer demo，也可以以各种各种产品需求28nm及以下把制程各种产品需求，Beta机集成工作中加速推进中，已胜利新客户订单，即将进入产线验证指日可待。

　　这是 几家聚焦集成电路良率管理行业领域，以打出持续性提升芯片制造门槛为使命的半导体其它企业，东方晶源但是以研发创新为持续性的发展核心，持续性的丰富产品产品矩阵并打出持续性提升产品产品性能，填补多项国内外空白。今后，东方晶源将再第二次立足一体化相关软件其他平台和检测装备两大行业领域，以新客户为中心规划，以当前市场为导向，持续性的开展技术一突破与产品产品创新，与目前我国集成电路产业上下游其它企业勠力同心，推动目前我国集成电路制造产业再第二次高速持续性的发展。